石墨制品表面如何氣相層積處理
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發(fā)布時(shí)間：2019-08-29 11:35:23
一種石墨件表面沉積碳化硅的方法，包括如下步驟：(1)石墨表面除雜：首先將石墨件表面的雜質(zhì)通過(guò)形成金屬鹵化物升華除去；(2)CVD沉積：將處理后的石墨件送入CVD反應(yīng)爐，通過(guò)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)在石墨件表面沉積碳化硅涂層。本發(fā)明通過(guò)在CVD反應(yīng)爐之前設(shè)置預(yù)處理爐，將石墨件含有的金屬雜質(zhì)通過(guò)與鹵族氣體反應(yīng)形成金屬氯化物升華除去，有利于純化石墨件，避免其含有的雜質(zhì)帶入后續(xù)的系統(tǒng)。另外，通過(guò)超聲清洗，進(jìn)一步清潔石墨件的表面，避免附著的顆粒物存在影響碳化硅涂層的結(jié)合強(qiáng)度。