單晶硅爐用石墨熱場(chǎng)
單晶硅爐用石墨熱場(chǎng)?
單晶硅爐用石墨熱場(chǎng)，是一個(gè)集物理、化學(xué)、幾何綜合理論為一體，專門研究人員經(jīng)過多年反復(fù)考證，多年經(jīng)驗(yàn)總結(jié)制定。
熱場(chǎng)采用細(xì)結(jié)構(gòu)中粗石墨做爐底護(hù)盤。保溫罩、上下蓋采用進(jìn)口等靜壓石墨做加熱器、坩鍋、導(dǎo)流簡(jiǎn)、托桿、鍋托等，保證了石墨坩堝的強(qiáng)度及純度。
熱場(chǎng)是單晶硅成晶的重要條件之一，熱場(chǎng)的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶，以及拉制單晶的質(zhì)量好壞，其材質(zhì)好壞直接影響熱場(chǎng)壽命。本公司與中國最早生產(chǎn)單晶硅企業(yè)河北晶龍集團(tuán)合作十幾年。與晶龍集團(tuán)合作結(jié)合國內(nèi)外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨熱場(chǎng)，并與晶龍集團(tuán)成立了自己的石墨熱場(chǎng)生產(chǎn)基地。在晶龍集團(tuán)等各大單晶硅生產(chǎn)基地長(zhǎng)期應(yīng)用，對(duì)所用石墨材料及整個(gè)熱場(chǎng)壽命加以肯定，為以后生產(chǎn)特制定如下標(biāo)準(zhǔn)。
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